广州潽拓光电科技有限公司主要从事机电自动化,光电存储媒体,半导体,医疗,太阳能电池板等真空镀膜设备维修,销售,设计,开发及系统工程,软件开发,承接等,是Leybold、Pfeiffer、Alcab、Agilent(Varian)、BOC Edwards、Shimadzu、ULVAC、Osaka等一线品牌分子泵专业维修厂商。
ULVAC UTM-3303FH
采用五轴磁浮轴承和数字控制的复合翼型涡轮分子泵。
UTM-FH、UTM-FW采用数字控制五轴磁浮轴承,实现了***、高可靠性和节能等优点。FH系列是高背压·高压缩型,提高了氢压缩比,用于轻·中间工艺,FW系列是广域·大流量型,用于高负荷工艺和中间·硬工艺。
特点
具有监控和自诊断功能以及通信功能,可与集中管理系统数字化通信。
配备有无耦合系统。 仅通过一个电源就可以与任何替换泵组合使用。
配备变速系统。排气速度可以在25%至100%的范围内切换。
具有***的***表面处理性,可支持选择特殊表面处理和内部升温系统,以进行进一步的硬化处理(FW系列)
采用断裂能量吸收结构,高安全性设计,减少故障时的设备损坏。
符合CE标志