Pfeiffer 磁悬浮涡轮分子泵Hipace 300 技术参数：
型号接口 DN抽速 l/s压缩比zui高启动压强hPa极限压力
(理论值)全转速气体流量hPa l/s启动时间重量
进气口排气口氮气
N2氦气He氢气 H2氮气
N2氮气N2hPa氮气N2minkg
HiPace 300 M10016255215170> 1X101120< 5X10–1028217.2
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