德国Leybold莱宝Turbovac250/20/20i真空泵半磁浮分子泵工作原理

工作原理

      涡轮分子泵转子是一个带叶片的涡轮，快速旋转的叶片将动量传输给气体分子，将起初无方向性的热运动变成有定向运动。

       涡轮分子泵的抽气过程就是使气体分子从进气口法兰定向运动到前级真空口。

在分子流范围——也就是在低于10-3mbar(0.75 x 10-3 Torr)的压强时，气体分子的平均自由行程大于转子与定子叶片之间的间距(典型为十分之零点几毫米)，分子主要与转子叶片碰撞，所以

抽气过程非常高效。

       在粘滞流范围，也就是压强超过10-1mbar(0.75 x 10-1 Torr)，情况则完全不同，分子间的频繁碰撞降低了转子的效率。因此，涡轮分子泵无法在大气压下工作，需要适当抽速的前级真空泵。

为了使气体分子产生定向运动，转子叶片的末端的线速度必须足够大。所以，转子也要有相应的高转速。对于莱宝真空的涡轮分子泵而言，较大直径转子（例如 TURBOVAC 1000 ，大约20cm(7.87in.)）的转速大约为36000rpm，而较小直径转子（例如TURBOVAC50，大约6cm(2.36in.)）的转速为72000rpm。