Agilent Turbo-V 2K-G 不仅仅是一台泵。它是专门为等离子溅射工艺精心设计的专用分子泵系统。其叶片级数和泵的整体结构均经过优化,可以工作在高氩气氛围下和温度极高的环境中。此外,它还拥有内置的控制器件、一体化的放空和充氮气保护阀以及免维护的轴承。所有这些特点使 Agilent Turbo-V 2K-G 成为镀膜工业出色的解决方案。
特性:
1、*款为薄膜沉积应用而专门设计的分子泵解决方案
2、现有的高性能、紧凑的仪器
3、首个采用完全集成的方法很大程度提高系统效率和正常运行时间的涡轮分子泵
4、将涡轮分子泵、驱动器件、电源、MoniTorr、吹扫气装置和通信装置集于一身
5、通用电子器件接口并配有操作简单的控制软件模拟 I/O 信号以及 RS232/RS485 接口等标准配置
6、安捷伦 Profibus 接口(可选)
7、采用了安捷伦 A-PLUS 软件(原 T-plus)