Seiko Seiki STP-301CB1精工精机分子泵维修，Seiko Seiki STP-301CB1日本精工精机分子泵进气法兰口ICF152/VG100/ISO100，出气法兰口KF25，抽速可达到300L/s，转速为48000rpm，VG/ISO法兰口极限压力6.5 x 10-6Pa (5 x 10-8Torr)，ICF法兰口极限压力10-7Pa (10-9Torr) 精工精机STP-H301C分子泵保养对应的控制器为：Seiko Seiki SCU-301C。
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