Edwards爱德华nXDS6i涡旋泵-极限真空性能干式泵

EDWARDS的nXDS干式涡旋泵具备出色的抽气能力、极限真空性能和先进的设计特性，性能居同类产品之首。nXDS泵在其他涡旋泵的基础上进行优化，提高了抽速，获得了更高极限真空、更低功耗和噪声。借助气镇功能可以对可冷凝蒸气(包括水、溶剂、稀酸和碱)进行抽真空。nXDS泵还采用了优化的端面密封技术，显著延长了端面密封条更换的时间间隔。

特色与优势：

温控风扇

可以在低负载条件下降低风扇转速，从而使噪声降至仅52 dB(A)。

轴承罩

可确保将制程气体与轴承润滑剂相分离，以确保清洁的真空环境，

并避免制程气体中的污染物进入润滑剂中，从而延长轴承的使用寿命。

变频器驱动

全球范围内泵性能完全相同、易于控制、功耗降低和自动电压调整特性，从而有助于打造卓越的用户体验。

优化涡盘设计转速提高， 极限真空比上一代提高一个数量级，极限压力低至7 x 10-3 mbar。

优化端面密封技术

使用寿命发生显著变化，就大多数应用而言，典型的端面密封条使用寿命达到2年以上。

高流量气镇特性

高达220 gh-1的速度抽取蒸气(包括水蒸气)。