安捷伦真空泵维修，Agilent TV401/301涡轮分子泵保养

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所属分类：安捷伦分子泵

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Agilent TV401/301 NSF是特殊设计的涡轮分子泵，有时又称为Varian TV401-301，转速为60000转／分钟，极限压力：1X10-9pa可以同时抽取两个腔体的真空，TV-401 301 Macrotorr平台为3个光盘形式。涡轮转子由永久润滑的高精度陶瓷球轴承支撑，该轴承安装在泵的前排侧。定子的静叶片由不锈钢制成。这些由垫片环支撑并精确定位。Macrotorr定子采用自定位的机加工盘形式，具有泵送通道和受相应转子盘限制的开口。这些由铝合金制成。

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