爱德华nEXT85D涡轮分子泵保养,Edwards分析仪用真空设备泵维修,Edwards爱德华nEXT85D分子泵进气法兰口NW40/ISO63/CF63/ISO100,出气法兰口KF25,抽速可达到47 L/s /84 L/s /86 L/s,Edwards爱德华nEXT85IH自带控制器