Edwards STP-XA4503C英国爱德华磁悬浮分子泵维修,Edwards STP-XA4503C爱德华磁悬浮分子泵进气法兰口VF300/ISO320F/VG350,出气法兰口KF40,抽速可达到3800-4300 l/s,转速为24000 rpm, 极限压力10-7Pa / 10-9mbar,对应的控制器为:Edwards SCU-1600。
STP-XA4503C 爱德华磁悬浮涡轮分子泵此泵基于新的设计,提供功能以改善热管理,从而增强在严苛制程中的性能,提高大制程流能力,并减少腐蚀和沉积的影响。 STP-XA4503C 爱德华磁悬浮涡轮分子泵具有很宽的制程范围(从高真空到高流量要求),对气体都具有更高的吞吐量。